menu
person

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением : Л. А. Сейдман

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением : Л. А. Сейдман
Автор - Л. А. Сейдман
Ответственный редактор - Мина Беркалиев
Год - 2014
Главный художник: Анатолий Игнатьевич Божакин
Мир материалов и технологий (Техносфера)
Формат - txt, fb2, pdf, epub
Страниц - 419

Подробная информация: "Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением"

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций. Вы можете скачать книгу Л. А. Сейдман - Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением.

Скачать книгу

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением : Л. А. Сейдман

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением : Л. А. Сейдман

Просмотров: 7 | Добавил: smatconlepertennori | Теги: читать, наука, мир | Рейтинг: 0.0/0
Всего комментариев: 0
avatar